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氧化氮化膜
氧化氮化膜
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氧化氮化膜
提供硅片、石英片、玻璃片、蓝宝石片等基底氧化膜、氮化膜、复合膜加工服务，按需定制。
氧化硅SiO2膜/氮化硅SiN膜
镀膜基底 硅片、石英片、玻璃片、蓝宝石片、Pi等
基底尺寸 2-8英寸
厚度 nm级别、um级别，可按需定制
表面 单面、双面
镀膜工艺 热氧化工艺、PECVD、LPCVD、电子束蒸发等
其他 镀膜均匀性高、整体粗糙度好
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