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减薄
通常在晶片封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度,这一工艺过程称之为晶片减薄。芯片背面减薄是芯片制造过程中非常重要的环节,旨在使芯片获得更好的电学性能,同时减小芯片的厚度,提高芯片的透明度。 新越半导体为多家高校/科研机构提供MEMS加工代工服务,熟练掌握机械研磨、化学机械抛光等晶圆芯片半导体减薄技术。
减薄技术:
● 机械研磨、化学机械抛光等
应用材料:
● Si,GaAs,GaN,InP,玻璃,蓝宝石,陶瓷等
均匀性:
● ±2um
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