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MEMS加工与半导体衬底材料:核心种类、工艺适配及应用前景
MEMS加工与半导体衬底材料:核心种类、工艺适配及应用前景
2025 / 12 / 04
MEMS作为融合微机械、微电子与材料科学的前沿技术,已广泛应用于智能手机、医疗设备、汽车电子等领域。在MEMS器件的研发与生产中,半导体衬底材料扮演着“地基”般的关键角色,其性能直接决定器件的精度、稳定性与应用场景。二者的深度融合,既是半导体技术迭代的必然结果,也是MEMS产业突破性能瓶颈的核心路径。
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