为何高端MEMS加工纷纷转向蓝宝石晶片?
2025 / 08 / 28
在微机电系统(MEMS)的世界里,我们正在不断地将机械结构、传感器、执行器乃至整个系统微型化,集成到微米甚至纳米尺度的芯片上。从智能手机中的加速度计和陀螺仪,到汽车的安全气囊压力传感器,再到未来的可穿戴医疗设备,MEMS技术无处不在。而在这个精密的微观世界里,材料的选择是决定器件性能、可靠性和成本的关键。近年来,蓝宝石晶片凭借其一系列卓越的物理和化学特性,正逐渐从众多材料中脱颖而出,成为高端MEMS加工中不可或缺的理想衬底材料。