类型 | 型号 | 厚度/um | 作用光谱 | 工艺应用 |
光敏干膜/SU8干膜 | 国产/进口 | 10-200 | ghi-line | 电镀、刻蚀、键合、微流控、WLP、MEMS等 |
彩色光刻胶 | RGB光刻胶 | 0.5-1.5 | ghi-line | 可用于CFA/CFM,可定制 |
彩色SU-8 | 0.5-150 | |||
纳米压印胶 | mr-NIL6000E | 0.1-1 | 热固化/UV固化 | 可用于纳米图形的制造、多层结构 |
SIPOL | 0.1-1 | 热固化 | ||
mr-UVCur21 | 0.1-1 | UV固化 | ||
光固化胶 | Ormo系列 | 0.1-300 | 热固化/UV固化 | 适用于光栅、WLO、光耦合器等 |
旋涂介电材料 | SOG | 一种基于聚硅氧烷的旋涂介电材料;可用作粘合介质,并在永久或部分蚀刻模式下用作保护涂层 | ||
临时键合胶 | 国产/进口 | 热解键合、激光解键合等 | ||
永久键合胶 | 热固化、UV固化、常温固化、混合固化等 | |||
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