| 硅外延 | GaN氮化镓/SiC碳化硅外延 | |||
| 基板 | 硅 | R面-蓝宝石 | C面-蓝宝石 | 硅/碳化硅 |
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| 尺寸 | 4-6英寸 | 2-6英寸 | 2英寸 | 4-6英寸 |
| 类型 | P/P++,N/N++,N/N+,N/N+/N++,N/P/P,P/N/N+ | N型(掺Si)、P型(掺Mg)、不掺杂 | ||
| 厚度um | 0.1-200 | 0.3-5 | 3-9 | |
